경북도가 지난 14일 산업통상부가 주관한 ‘반도체 챔버용 소재·부품 제조 및 검증 테스트베드 구축’공모사업에 최종 선정돼 국비 150억 원을 확보했다.
반도체 챔버 핵심부품은 반도체 챔버(제조 장비 내부)내에서 웨이퍼를 고정(정전척)하거나 플라즈마를 제어(포커스 링)하고, 극한 공정 환경으로부터 장비를 보호(라이너)하는 전략적 핵심 소모품을 의미한다.
이번 공모사업은 2nm급 이하 초미세 반도체 공정 도입에 따라 극저온·수소 플라즈마 등 극한 환경을 견딜 수 있는 고부가 챔버 부품 수요가 증가하는 상황에서, 미국·일본 등 특정 국가 의존도가 높은 핵심 부품 기술 자립화를 위해 추진된다.
그동안 국내 중소·중견기업은 반도체 핵심 부품 개발 시 고가의 준 양산급 장비 부족으로 시제품 제작과 성능 검증에 어려움을 겪어 왔다.
경북도는 이번 테스트베드 구축을 통해 독자적으로 구축하기 어려운 장비 구축과 기술 지원 체계를 마련해 개발 과정의 시행착오를 줄이고 상용화 기간도 단축할 것으로 기대하고 있다.
현재 챔버용 3대 핵심 부품(정전척, 링, 라이너)은 대외 의존도가 90%를 웃도는 상황이다. 이번 사업을 통해 개발 기간은 기존 5년 이상에서 3년 이내로 40%이상 단축하고 개발 비용도 50%이상 절감해 수입 대체 효과를 높일 계획이다.
이번 사업은 올 5월부터 5년간 총사업비 400억 원(국비150, 도비75, 시비175)을 투입해 구미국가1산업단지 내(구미 공단동 방림부지)반도체 챔버용 소재·부품 테스트 베드를 조성한다.
주요 내용은 ▲반도체 챔버용 소재·부품 기술지원센터 구축 ▲반도체 챔버용 핵심 소재·부품 제조·검증 장비(44종) 구축 ▲시제품 제작 지원 및 시험분석 평가 지원 ▲수요-공급기업 네트워크 활성화 및 기업 지원 등이다.
이를 통해 지역의 소재·부품 제조 기술과 수도권의 칩 양산을 잇는‘K-반도체 밸류체인’을 완성할 방침이다.
주관 기관인 한국세라믹기술원은 연 면적 3,000㎡(클린룸 500㎡ 포함)의 반도체 챔버용 기술지원 센터를 구축해 시제품 제조공정 지원, 제조공정 분석 평가 기술 지원을 위한 36종 장비를 구축한다.
공동 참여기관인 한국산업기술시험원은 시제품 신뢰성 평가 및 검증 시스템을 확립해 공인 시험성적서 발행 등 객관적 데이터 확보를 위한 8종의 장비를 구축하며, 구미전자정보기술원은 기술지원센터가 활성화 되도록 맞춤형 이용 가이드(장비예약, 공동 R&D 발굴 등) 및 컨설팅을 지원한다.
아울러, 한국반도체산업협회는 반도체 전시회, 기술 시연회를 통해 수요-공급 기업 간 협력 지원 및 홍보를 지원한다.
정성현 구미시장 권한대행은 “이번 공모 선정은 구미가 첨단 반도체 소재·부품 기술혁신 거점으로 도약하는 중요한 전환점”이라며 “대한민국 반도체 공급망 경쟁력 강화를 이끄는 핵심 도시로 성장할 수 있도록 관련 산업 육성과 기업 지원에 행정 역량을 집중하겠다”고 말했다.
양금희 경북도 경제부지사는 “이번 국비 확보는 경북이 대한민국 반도체 소재·부품의 중심지임을 다시 한번 입증한 쾌거”라며, “구미 반도체 특화단지를 중심으로 초격차 기술 경쟁력을 확보해 글로벌 반도체 공급망을 주도해 나가겠다”고 밝혔다.김구동·이은진 기자 |
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